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半導体特性評価向け「4200-SCS型」用ソフト

[2008年09月号]

KTEI V7.1


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 米Keithley Instruments社は、同社の「4200-SCS型 半導体特性評価システム」用ソフトウエアの新版「Keithley Test Environment Interactive(KTEI) V7.1」を発表した。オプションのハードウエア「4200-CVU(capacitance voltage unit)型パワーパッケージ」とともに用いることにより、C‐V試験、パルス試験、I‐V試験が1台で行える。

 KTEI V7.1は400種類以上の試験ライブラリを備える。4200-CVU型パワーパッケージと組み合わせると、最大200V(差動では400V)、300mAのC‐V試験が可能となる。このような耐圧を備えることから、自動車やディスプレイなどで使用される、LDMOS(横方向拡散MOS)などのパワーデバイスの試験を行える。このほか、低電圧CMOSやHigh-k絶縁膜などの特性評価に適した準静的C‐V測定も行える。すでに4200-SCS型を使用している場合、無償でKTEI 7.1に更新できる。4200-CVU型パワーパッケージの価格は38万円。

連絡先:ケースレーインスツルメンツ(代表)、03-5733-7555



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