エスアイアイ・ナノテクノロジーは、小型で低価格なFIB（focused ion beam：集束イオンビーム）装置「ナノ加工顕微鏡システムSMI500」を発表した。顕微鏡観察、エッチング加工、デポジション加工の機能を備えており、入門機として市場に投入する。価格は2980万円で、2008年12月の出荷開始を予定している。

　新製品は、ベクタースキャンモードやイージーナビ機能を設けることで、初心者でも簡単に操作できるようにした。また、上位機種にも採用している独自開発のFIB鏡筒を搭載しており、明瞭な2次電子顕微鏡像が得られる。オプションとして、デポジション加工用のガス導入システムや、試料の位置合わせに用いるCCDカメラなども用意している。

　主な仕様は、FIB加速電圧が30kVで、顕微鏡の最大倍率は3万倍以上。対応可能な試料のサイズはφ32mm以下で、厚さは15mm以下。5軸ステージを採用している。

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