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Keithley社、半導体特性評価システムの
ソフトウエア新版を発表
[issued: 2008.08.06]
4200-SCS型用ソフトウエア「KTEI V7.1」
KTEI V7.1は、400種類以上のデバイス試験ライブラリを備えている。うち20個はC‐V試験に特化したものだ。4200-CVU型パワーパッケージと組み合わせると、最大200V(差動では400V)、300mAのC‐V試験が可能となる。このような耐圧を備えることから、自動車やディスプレイ、MEMS(micro electro mechanical systems)などで使用される、LDMOS(laterally diffused MOS:横方向拡散MOS)などのパワー半導体デバイスの試験を行うことができる。そのほか、低電圧CMOSやHigh-k絶縁膜などの特性評価に適した準静的(quasistatic)C‐V測定も行える。
既存の4200-SCS型については、無償でKTEI 7.1にアップグレードできる。4200-CVU型パワーパッケージはオプションとして注文可能で、価格は38万円。
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