太陽誘電は2008年9月、『CEATEC JAPAN 2008』において、1ppb（1ppbは10億分の1）の濃度の酸素を検知できる誘電体ガスセンサーを発表した（写真1）。現在、開発段階にあるもので、ICの製造時に用いる酸素センサーをターゲットとしている。通常、1ppbレベルの酸素を検出するには、価格の高いQCM（水晶発振子マイクロバランス）センサーやQ-Mass（4重極型質量分析計）が必要となる。太陽誘電によると、「誘電体ガスセンサーであれば、1ppbレベルの酸素を検知可能な感度を備えながら、より低価格のセンサーを実現できる」という。

　写真1の緑の部分は、基板上に成膜したSrTiO₃（チタン酸ストロンチウム）薄膜である。これに酸素が吸着すると、膜中で分極が生じる。これによって生じた膜中の抵抗値の変化を測定することで、酸素濃度が測定できるという。さらに「将来的には、酵素やタンパク質、DNAなどのレセプタ（受容体）でSrTiO₃薄膜表面をコーティングすることにより、気体中の特定の分子を識別可能とし、バイオセンサーにも応用したい」（太陽誘電）考えだ。同社は、この誘電体ガスセンサーのサンプル出荷を2008年冬には開始したいとしている。

　この誘導体ガスセンサーは2007年のCEATECでも展示されていたが、「1年が経過して、1ppbという検出感度を検証できた。また、バイオセンサーとして応用するための分子感受膜の開発も始まった」（同社）という。

（村尾 麻悠子）