エプソントヨコムは2008年9月、『CEATEC JAPAN 2008』において、水晶素子を採用した重力加速度センサーと、それを用いて物体の傾斜角度を測定する技術を発表した（写真1、2）。この技術は現在開発中のもので、重力（重力加速度）が変わると発振周波数が変化するという水晶の性質を傾斜角の測定に応用した。物体が水平（傾き0°）のときにかかる重力を最大とし、重力の変化（水晶の発振周波数の変化）から傾きを計算する。

　この重力加速度センサーは、0～1G程度の低い値を測定できることを特徴とする。また、分解能が1µGと高く、±70Gという広い範囲でも重力加速度を検出できるという。水晶素子を利用したことで長期の安定性が得られ、バイアス安定度も±3mGと高い。さらに、10µG/√Hzという低ノイズ密度化により、高い精度で加速度を検出できるという。

（村尾 麻悠子）