エスアイアイ・ナノテクノロジー（以下、SIIナノテク）は2008年7月、小型で低価格なFIB（focused ion beam：集束イオンビーム）装置「ナノ加工顕微鏡システムSMI500」を発表した。顕微鏡観察、エッチング加工、デポジション加工の機能を備えるが、価格を2980万円に抑え、入門機として市場に投入する予定だという。出荷開始は2008年12月を予定する。

　新製品では、ベクタースキャンモードやイージーナビ機能を設けることで、初心者でも簡単に操作できるようにした。また、上位機種にも採用している独自開発のFIB鏡筒を搭載しており、明瞭な2次電子顕微鏡像が得られるという。オプションとして、デポジション加工用のガス導入システムや、試料の位置合わせに用いるCCDカメラなども用意している。

　主な仕様は、FIB加速電圧が30kVで、顕微鏡の最大倍率は3万倍以上。対応可能な試料のサイズはφ32mm以下で、厚さは15mm以下。5軸ステージを採用している。

　SIIナノテクによると、FIB装置は、一般的に1台5000万円～数億円と非常に高価で、操作にも専門的な知識を要する場合が多い。エッチングやデポジションだけではなく、微細な切断や冶具の作製などにも使用できるような、手軽なFIB装置へのニーズがあったという。新製品は、このような要求に応えるために開発した。