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東京工業大学と富士通研究所らが
FeRAMの大容量化に向けたメモリー材料を開発
[issued: 2008.03.28]
図1 新材料のリーク電流特性
BFCOは、BFOにおける鉄成分の半分をクロムに置き換えた材料。リーク電流はBFOの数千分の1となる。
現在、FeRAMにおいてはメモリー材料としてチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3。以下、PZT)が用いられている。このPZTには、130nm以下の微細プロセス技術では、記憶に必要な電荷量が十分に得られないという課題がある。また、その代替としてより高い電荷量を保持できるビスマスフェライト(BiFeO3、以下BFO)に期待が集まっているが、PZTと比較して書き換え回数が少ないことやリーク電流が多いという課題があった。
今回発表されたメモリー材料は、BFOにおける2つの成分の一部を別な物質に置き換えたものである。1つはビスマス(Bi)であり、その一部をサマリウム(Sm)に置き換えた。そのことによって、1000億の繰り返し書き換え回数を達成したという。もう1つは鉄(Fe)であり、その半分をクロム(Cr)に置き換えた。それにより、置き換え以前のBFOと比較して数千分の1、PZTと同等のリーク電流に抑えることができた(図1)。これらの置き換えによって、メモリー材料としてBFOを用いることへの見通しが得られ、90nmや65nmのプロセス技術でも、現行の180nmのプロセス技術を用いたFeRAMと同じ構造を採用することが可能になり、FeRAMの大容量化を実現できるという。
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連絡先:富士通研究所 シリコンテクノロジ開発研究所 混載メモリ開発部、電話046-250-8377

