TDKはGMR*1)素子を使用した、大きさがわずか3.6mm×2.5mm×0.8mmの全方位落下検知センサーを開発した。最近、商品化が活発な全方位(X、Y、Zの3軸)MEMS*2)センサーは5.0mm角品がほとんどである。用途はカーナビが多い。今回、約半分の大きさを実現した。来期中の量産化を目指す。
　 HDDが着地する前に落下したことを検知し、ヘッドをHDDからはずすことで破損を防止する。HDDの小型化が進むにつれ携帯性が高まり、需要が予想される。
　 同社の主力製品の一つであるHDD　用GMRヘッドで培ったスピンバルブGMR膜の技術を応用した。磁化のスピンを電流のバルブに見立てた技術で、磁化方向が固定されている磁性層(ピン層)と、外部からの磁力の変化を受けて磁化の向きを変える磁性層(フリー層)の間に非磁性層(スペーサ)が挟まれており、フリー層が受けた磁化の変化によってGMR効果が得られる。
　 弾性部材によって固定された磁性体の動きを、スピンバルブGMR層で検知するしくみ。落下時は磁性体が無重力状態となり、スピンバルブGMR層に対して一定の位置に固定されることで検知することができる。微細な動きに対応するため、弾性部材はゴムを特殊な形に加工したものを使用し、精度を左右する磁性体の大きさを調整した。
（川村　祥子）(大村　泰憲)



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*1)【GMR】
Giant Magneto Resistive
*2)【MEMS】
Micro Electro Mechanical Systems

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