フリースケール・セミコンダクタ・ジャパンは、MEMS(Micro Electro Mechanical System)をベースとした3軸低加速度センサー「MMA7260Q」（図1）を発売した。1.5G～6Gまで、応用機器に応じて加速度の大きさを選択できる。1万個購入時の参考単価は5.23米ドルである。ポータブル電子機器の落下検出や衝撃検出に向ける。
　 同社は従来2軸までの加速度センサーは製品化していたが、3軸センサーは初めてである。同社の加速度センサーは、2枚の固定電極の間に可動電極を置く構成となっており、固定電極と可動電極の間隙の変化に伴う容量の変化を捉えて、それを後段のICで処理する方式。この動きを図2に示す（MEMSセンサーの動きを示す動画像：最初の画像が加速度センサーを示しており、後にある画像は圧力センサーの動き：出典はフリースケール　[5.64MB]）。具体的には、パソコンを落としたときなど、自然落下のGを、3軸加速度センサーを用いて検出し、衝撃が伝わる前にハードディスクのヘッドを固定するなどの処理を行うことでパソコンの故障を事前に防ぐ応用などに用いる。
　 主な仕様は以下のとおり。1つのデバイスで1.5G、2G、4G、6Gの4通りの選択ができる。消費電流は500μAと低い。スリープモードではさらに低く3μAになる。動作電圧は2.2V～3.6V。起動時間は1ms。パッケージは大きさが6mm×6mm×1.45mmのQFNパッケージである。
　 この3軸加速度センサーを用いたリファレンスデザイン用の評価ボード「RD3112MMA7260Q」が用意されており、参考単価は57米ドル。