ドイツのInfineon Technologies社は、MEMS（micro electro mechanical systems）技術を利用した小型シリコンマイク「SMM310」の製品化を発表した。携帯電話やデジタルカメラ、ビデオレコーダ、ノート型パソコン、補聴器、自動車用のハンズフリー通話セットなどの用途に向ける。
　SMM310は、MEMSチップとASICチップの2つを1つのパッケージに封止したもので、外形寸法は4.72mm×3.76mm×1.5mmと小さい。消費電流は70μAで、従来のコンデンサマイクに比べて約1/3だという。
　SMM310のMEMSチップは振動板としてシリコン膜を備え、これによって音圧を静電容量に変換する。金属を蒸着したフィルムを振動板として使用する従来のコンデンサマイクと比べて耐熱性が260℃と高い。そのため、はんだリフロー工程での自動実装が可能だという。
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