2006.3

リソプロセスのばらつきを事前に検出

米Mentor Graphics社は、RET（Resolution Enhancement technique）検証ツール「Calibre OPCverify」を発売した。設計歩留まり向上に向けたDFMツールである。パターン転写性に悪影響を及ぼす条件範囲（ドーズ、フォーカス）を見極めるアルゴリズムを用いてプロセス変動の歩留まりへの影響を解析し、リソグラフィのエラーや境界を検出する。プロセス変動は特にリソグラフィプロセスにおいて問題を起こすことが多く、たとえ露光装置のプロセスウインドウが許容範囲内であってもパターン転写忠実性を損なうことがある。Calibre OPC verifyはこのような課題へ対応したツールであり、そのモデリング機能は、液浸リソグラフィを含め、現在運用されている最先端プロセスのリソグラフィ条件に対して動作を保証するという。 　同社が提供しているユーザー・インターフェース「Calibre Verification Center」を使って、セットアップおよびコンフィギュレーションを実行できる。このユーザー・インターフェースを使用することで既存のワークステーションなどのハードウエアを最適化された形で利用でき、より短いTATで解析を実行できるという。 連絡先：コーポレート・マーケティング部、03-5488-3035 Advertisement