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図8　インピーダンス周波数特性の解析例

電源とグラウンド配線間のインピーダンスの周波数特性を解析した例である。シリコン基板を完全導体と仮定したモデルと、シリコン基板の伝搬モード（スロー・ウエーブ・モード）を考慮したモデルによる解析結果を比較した。シリコン基板の伝搬モードを考慮しないと、インピーダンスの値が過小評価されてしまう。