図6　シリコン基板上の配線クロストーク

シリコン基板上に作成した配線間のクロストークをシミュレーションと実測で求めて比較した。シリコン基板を完全導体と仮定すると、実測値と比べてクロストークの大きさが過小評価されてしまうことが分かる。

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