図4　半導体基板の信号伝搬モード

半導体基板の信号伝搬モードは3つに分けられる（a）。現在のLSIチップに使われるシリコン基板では、スロー・ウエーブ（遅波）・モードが支配的である。この伝搬モードにおけるシリコン基板は電界に対して導体、磁界に対して絶縁体として振る舞う（b）。（c）はこの伝搬モードを考慮した伝送線路の等価回路モデルである。

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